（一) 潔凈室的定義　　

潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。是集建筑裝飾（與大氣相對隔斷的密閉裝修）、凈化空調、純水、純氣、動力電、照明電、工藝管道等多種專業技術于一體的產物，潔凈室（或潔凈廠房）。

(二) 潔凈室的分類實現層流的低風速值

2.1按用途分類(可分為兩大類)　

①工業潔凈室-以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。　

②生物潔凈室：以控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：　

A.一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保持正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。

B.生物學安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓?！　　?/p>

2.2按氣流分類(按氣流可分為四類)　　

①.單向流潔凈室（層流、活塞流）　　

②.亂流凈室　　

③.輻射流（斜流）潔凈室　　

④.復合式潔凈室（亂流、層流同在）　

(三) 單向流(層流)潔凈室(又稱垂直流，平行流)　　

房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

(四) 亂流潔凈室的原理和特性　　

1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度是不平行流動，伴有回流或渦流的潔凈室?！　?/p>

2、原理：亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，把室內污染逐漸排出，來實殃潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。

3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈級別。換氣次數決定定義無反顧的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。

4、優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

5、缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。　　

(五) 復合式潔凈室

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

①潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易；維修設備時可在維修區輕易執行。

②潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

③并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。另外還有潔凈工作臺和潔凈工作棚等。　

(六)潔凈室的新風要求　　

按《潔凈廠房設計規范》規定，亂流潔凈室新風量應不小于總風量的10%-30%；單向流潔凈室，新風量應不小于總風量的2%-4%，當然也可以根據潔凈室的具體功能而定。